ウェーハ用希土類酸化セリウム研磨粉末 0.7-1.1μm
説明:
希土類元素(レアアース)酸化セリウム研磨粉(0.7~1.1μm)は、酸化セリウム(CeO₂、セリアとも呼ばれる)をベースとした高純度サブミクロン研磨材です。独自の化学的・機械的研磨機構を有しています。酸化セリウムウェーハ研磨粉は、半導体ウェーハ、光学部品、電子基板などの精密研磨に広く用いられており、ウェーハ研磨スラリーの製造に適しています。
ウェーハ用希土類酸化セリウム研磨粉末0.7-1.1μmの特性:
| CAS番号 | 1306-38-3/1312-81-8 |
| 式 | 酸化セリウム(CeO2)/酸化ランタン(La2O3) |
| 外観 | 白色粉末 |
| そんなことないよ。 | 215-150-4/215-200-5 |
| 真の密度 | 6.5~7 g/cm3 |
| 融点 | 摂氏2400度 |
| 沸点 | 3500℃ |
典型的な化学分析[%]:
| アイテム | 保証価値 | 標準値 | |
| 言語 | ≥94 | 94.42 | |
| 希土類不純物/REO | ランタン二酸化ランタン | 32~36 | 34.94 |
| セリウムO2 | 64-68 | 64.57 | |
| プロトン6O11 | ≤0.2 | 0.007 | |
| ニオブ酸 | ≤0.2 | 0.002 | |
| 非希土類不純物 | Fe2O3 | ≤0.04 | 0.033 |
| アルミナ | ≤0.5 | 0.289 | |
| 高い | ≤1.5 | 0.04 | |
| 酸化マグネシウム | ≤0.5 | 0.104 | |
| SiO2 | ≤0.1 | 0.019 | |
アプリケーション:
光学ガラス、集積回路基板ガラス、電気めっき基板ガラス、高精度光学レンズ、カメラレンズ、航空機強化ガラス、各種ディスプレイガラスなど、10種類以上の規格・モデルの製品の高精度研削・研磨に使用されます。
水ドリル、熱ドリル、ガラスジュエリーなどに使用されます。
パッケージ:






















